​石英玻璃在半导体制造中扮演着至关重要的角色‌。它广泛应用于半导体芯片制造的多个关键环节，包括单晶硅生长、晶圆加工和光刻与封装等‌。

石英玻璃在半导体制造中的具体应用

1. ‌单晶硅生长‌：在单晶硅生长过程中，石英坩埚用于盛装熔融硅并拉制单晶硅棒。石英坩埚的纯度直接影响硅晶体的质量。每生产1亿美元芯片需消耗50万美元高纯石英材料‌。
2. ‌晶圆加工‌：石英玻璃扩散管、石英舟、光掩膜基板等用于刻蚀、扩散、氧化等工序，确保在高温环境下的稳定性和抗污染能力。例如，半导体级石英砂需满足特定杂质元素的标准‌。
3. ‌光刻与封装‌：合成石英砂用于光刻机镜头等光学元件，满足10nm以下制程的精度要求‌。

石英玻璃的物理和化学特性

石英玻璃具有高透过率、低热膨胀率、高硬度和耐久性等优异的光学特性，这使得它成为高精度光掩膜基板制造的理想选择。此外，石英玻璃具有高透过率、低热膨胀率、出色的光谱特性以及高硬度和耐久性，适用于各种半导体制造工艺‌。

制备工艺

石英玻璃的制备工艺包括熔炼石英玻璃和合成石英玻璃。熔炼石英玻璃常采用电熔工艺和气炼工艺，而合成石英玻璃则可通过化学气相沉积(CVD)、等离子化学气相沉积(PCVD)以及间接合成法等技术实现。这些工艺确保了石英玻璃的高纯度和优良性能‌。